雁默專欄》笑大陸光刻機落後？但臺灣有嗎？

光刻機類型。（圖片來源：梓豪談芯）

大陸光刻機實現飛躍性突破了嗎？若有人想這樣下標，請先定義「飛躍性」。如果這是指大陸有能力生產先進製程晶片所需的光刻機，那就沒有「飛躍」，然而，公允地說，當前的進展確實是「重大突破」無誤。

本文就定義何謂「重大突破」。

晶片行業在近年備受普羅大衆關注，是從美國技術圍堵中國大陸纔開始的，此一領域內容複雜，大陸民衆對技術端追根究底的意願又十分強烈，因此關注焦點往往集中於一般人難以簡單理解的參數上，許多人（包含時評人）爲了趕熱度，不免在技術端上被錯誤引導，最終以訛傳訛。

最近大陸工信部公告並推廣氟化氬光刻機，由於公佈參數中有一相「套刻<=8nm」，被關心光刻機技術的大陸網民誤認爲技術已突破8nm製程，連外媒也搞不清楚狀況加以渲染，於是興奮感迅速傳播，大有舉國歡騰之勢，致使陸媒不得不推出詳細解釋的文章，以正視聽。

其實，我覺得大陸傳媒給出的大部分解釋，也是流於複雜，已經超過科普範圍，所以我想給臺灣讀者比較「科普」的簡潔說明。

簡單說，目前大陸官方推廣的是可實現55至65奈米的本土DUV光刻機，遠不是8奈米。此其一。工信部推廣的是兩種DUV光刻機，氟化氬光刻機(Arf)以及氟化氪光刻機(Krf)，前者可粗略理解爲65奈米，後者則是110奈米。

光刻機從低階到高階總共三大光源類型，依序爲UV，DUV，EUV。而這三大類中，UV又分成g-line與i-line，DUV則分成 KrF、ArF(dry)、ArFi 。最先進的EUV也有三種規格，由於與本文較無關，就不細說。

工信部這次推廣的是ArF(dry)以及KrF。在DUV這個領域，大陸還需突破到ArFi，其「可實現製程」可理解爲45nm - 7nm。

技術科普到這裡就可以了，講太多對大衆而言缺乏意義，也會侵蝕傳播效力。

瞭解了設備先進程度，我們還需瞭解大陸官方所謂「推廣」的意義。官方「推廣」意味着此一技術已經可以量產，並可在國際接受市場考驗。此外，這並不代表大陸沒有突破到ArFi技術，只是還沒到推廣階段。

從技術的眼光看，這是從零到一的進展，也就是最難的一關被突破了，此後的發展就是「升級」階段，理論上會比「無中生有」快速得多。

因此之故，有些不入流的臺媒嘲笑大陸光刻機還落後ASML15年，我也笑了，但笑的是臺灣本土光刻機連一臺都沒有，卻要笑人家有本土技術能力的。

真正該質疑的是，爲何臺積電沒投資於光刻機研發。這答案其實我也有，即在國際分工時代，臺灣不需要自己研發本土光刻機設備。只是，現在臺積電被美國卡脖子了，爲何還不投資於光刻機的從零到一？

接下來的說明纔是本文重點——市場。

根據2022年數據，光刻機由三家公司壟斷：ASML(市佔82.1%)，佳能(市佔10.2%)，尼康(市佔7.7%)。

佳能的產品線主要是i-line與KrF，針對中低端市場，可實現製程爲90奈米。尼康的產品線是i-line，KrF，ArF，ArFi，也是針對中低端市場，但有企圖挑戰中高階市場，其ArFi 可實現製程爲38奈米。ASML則生產全系列光刻機。

需要強調的是，光刻機市場目前仍以中低端爲主，也就是UV與DUV爲大宗，EUV銷量其實不多，這與先進製程晶片佔整體市佔僅約3成相匹配。

僅從ASML 2022年銷售來看，總銷量449臺，ArFi、ArF、KrF銷售量分別爲125臺、32臺、184臺。換言之，大陸光刻機對ASML市佔的威脅是ArF與KrF，以2022年數據看，大陸這兩種DUV可威脅ASML全球近半(48%)的市佔。當然，尼康與佳能就更別提了。

尼康光刻機的等級比佳能高，但2022年銷量是45臺，專攻中低階光刻機的佳能卻是187臺，這麼看就知道光刻機的市場主力確然是中低階，而大陸當前推廣的光刻機，白話說，就是最好賣的那一種。

再者，中國大陸與臺灣是光刻機的主要買家(大陸買了50%的ASML設備)，若只看這兩個市場，ASML將可能因大陸光刻機國產化而少掉20%銷售額，甚至更多，因爲大陸也可以推出政策，要求在大陸的臺廠使用本土光刻機。

從ArF再升級至ArFi，自然不會比從零到1還要花更長的時間，而在此期間，大陸光刻機已可佈局全球，用銷量與利潤來吸引投資，精進研發能力，攻堅EUV。

這意味着什麼呢？直觀來說，這意味着中國大陸的成熟製程晶片製造成本將更低，全球市佔將更大，並將臺韓與美歐圍困在先進製程裡。

因此，看技術的人會說，大陸還落後ASML 15年，但看市場的人會說，10年以內，ASML起碼會少掉50%以上的市佔。因爲晶片產業是如此重要，想發展的國家並不止西方，而現在供應鏈的選項更多了。那麼，ASML現在反對「技術圍中」，未來就不一定了。

因此之故，稱大陸光刻機發展已出現重大突破，毫不爲過。

從最近英特爾的慘況可見，攻堅先進製程的風險有多大，任何廠商若盯着先進製程不放，而忽略了成熟製程「打底」的重要性，都有可能遭前後夾擊，在銷量與技術上雙雙落空。

如果先進製程晶片相關產品是「王冠上的明珠」，成熟製程晶片相關產品就是「王冠」，當前大陸工信部推廣的本土ArF與KrF，就是王冠，可不是什麼過氣的工業製品。

這就能解釋，爲何ASML頻頻放話批評美國技術圍堵中國，從第一品牌的角度看，美國完全是在「資敵」，刺激中國自主的同時，還讓中方有光明正大的理由，政策性要求本土晶片廠購買本土光刻機，甚至藉此推廣到其他企圖發展晶片業的友岸國家。

面向普羅大衆，若要相對客觀地闡述半導體產業發展，只講技術不講市場的報導或評論，就算是業內人士也純屬外行，談產業要先以生意眼光看，然後纔去看技術，因爲技術靠研發，而研發靠營收。政府補貼不可能永遠持續。

想減緩中國大陸的自主速度，唯有回到國際分工的軌道，但看樣子是回不去了，就算美國放棄技術圍堵，中國也不可能再冒着被卡脖子的風險而放棄自主之路。從這個角度看，中國的崛起，真該感謝美國。（作者爲專欄作家）

※以上言論不代表旺中媒體集團立場※