廣州賽隆增材申請寬幅域掃描用電子束的自動校正專利，能夠實現寬幅域掃描用電子束的自動偏轉像差校正和自動聚焦校正

金融界2024年11月11日消息，國家知識產權局信息顯示，廣州賽隆增材製造有限責任公司申請一項名爲“寬幅域掃描用電子束的自動校正方法、裝置、設備及介質”的專利，公開號 CN 118919384 A，申請日期爲2024年7月。

專利摘要顯示，本發明公開了一種寬幅域掃描用電子束的自動校正方法、裝置、設備及介質，該方法包括：控制電子束以標定板上的當前標定物爲起點，以預設偏轉速 度掃描預設距離，其中，所述預設距離爲標定物間距；根據當前標定物的下一標定物的位置和電子束的當前位置進行偏轉像差校正；根據電子束的當前亮度，進行聚焦校正；重複上述步驟，直至完成對標定板上全部標定物的偏轉像差校正和聚焦校正。本發明的技術方案，能夠實現寬幅域掃描用電子束的自動偏轉像差校正和自動聚焦校正，提高了校正精度。

本文源自：金融界

作者：情報員