北科大 設半導體廠務與設備中心

北科大副校長楊重光（右四）、能源系特聘教授胡石政（右三）、臺灣高科技廠房設施協會秘書長張陸滿（右二）、益升總經理張振光（左四）、華景總經理古震維（左二）主持揭牌儀式。圖／北科大提供

臺北科技大學攜手益升系統科技、華景電通，成立北科大半導體廠務暨製程設備研發中心，4月13日舉行揭牌成立儀式；北科大整合三方研發能量，聚焦先進半導體制程廠務，及設備相關研發成果與專利技轉，強化人才培育並促進技術研發。

北科大副校長楊重光表示，北科大擁有世界級半導體業的開放式研究環境，相關產學合作計劃金額達上千萬元，半導體創新技術研發成果豐碩。期待此次和益升系統科技、華景電通共同合作，透過中心的設備與研發能量，輔佐技術升級發展，促進產業羣聚效應。

北科大去年也與陽明交大簽訂學術合作協議，以北科大專精的機械、材料等製程及設備技術，結合陽明交大與半導體業界的聯合開發經驗，共同提升雙方的研究創新能力。

半導體廠務與設備中心主任由北科大能源與冷凍空調工程系特聘教授胡石政擔任，胡石政研究專長涵蓋半導體制造設備及環境，合作教授施陽正，專研氣流模擬分析在冷凍空調的應用、計算流體力學的工程應用、熱舒適度與熱流應用研究、能源科技等相關技術。

益升系統科技主要的業務爲大型空調系統、醫用無菌室、電子業高科技無塵室及相關機電、製程管線的規劃、設計及建造，尤以節能爲特長，最佳化設計高效能低成本的空調系統。

華景電通主要產品爲「晶圓製程氣態污染物（AMC）防治設備」，用於半導體高階製程環境控制及高潔淨度要求的解決方案。在製程中，環境的AMC會影響晶圓的良率，隨着晶圓線徑越小，AMC對良率影響越大。潔淨的環境能有效提高晶圓良率，降低AMC對晶圓產生的危害，提高生產效率。