ASML曾答應賣EUV 大陸卻拿不到 驚人內幕曝光

基於商業之外的原因，ASML無法向大陸市場出口EUV，儘管它曾一度差點賣給中芯國際，但最後又被封殺擱置。（圖/達志影像/shutterstock）

由於目前世界上能夠製造EUV（極紫外光刻機）的公司，只有一家荷蘭光刻機巨頭艾司摩爾（ASML），而EUV是先進製程必須的關鍵設備，每臺造價約1.3億美元(約37億元新臺幣)，因此成爲半導體大廠在先進製程之爭的關鍵資源。雖然ASML進入到大陸市場已經超過30年，但基於商業之外的原因，ASML無法向大陸市場出口EUV，儘管它曾一度差點賣給中芯國際，但最後又被封殺擱置。

根據大陸《雷峰網》報導，大陸一直是ASML在全球範圍內最重要的市場之一。按照ASML全球副總裁、大陸區總裁沈波的說法，2020年第二、第三季度，ASML出口大陸地區的光刻機臺數，超過了全球總檯數的20%。當然，這些出售到大陸的光刻機，不包含EUV設備。對此，他表示，ASML必須要在遵守法律法規的前提下進行光刻機出口，但ASML對向大陸出口光刻機是保持開放態度的。由此可見，如果排除外界因素的干擾，ASML自身是很有誠意與大陸合作的。

報導指出，ASML成立於1984年，當時市面上尚有多家生產光刻機的公司，而ASML位居最後一名，僅用2年時間，ASML就研製出了型號爲PAS2500 的晶圓步進式光刻機（Stepper），它可以生產VLSI 一代的晶片，這使ASML在市場上站穩了腳跟，也打開了知名度。

值得一提的是，早在1988年，ASML在進軍亞洲之時，就向大陸出售了最早一臺設備。經過30多年的深耕，ASML在大陸已經出售700多臺光刻機裝機，涵蓋了ASML公司（EUV設備之外）的絕大部分類型產品。不僅如此，ASML目前在大陸設有12個辦公室、11個倉儲物流中心及2處技術開發中心，還在大陸專門建設了一個培訓中心，培養光刻行業人才。

然而，作爲全球最大的光刻機企業，ASML享有EUV技術帶來的商業發展便利，同時也不得不承受大國競爭和衝突下的壓力。一個典型的案例，就是EUV出口大陸受阻。

報導分析，EUV是光刻機在發展過程中的第五代產品，由於採用了極紫外線，它的最小工業節點到了22-7奈米，可以說是世界上最先進的光刻機設備，而這種設備，只有ASML能造出來。不過，在美國主導的《瓦森納協定》（Wassenaar Arrangement）的影響下，這一高科技設備對大陸的出口受到嚴格限制，直到2018年才發生轉機。

2018年4月，中芯國際向ASML訂購了一臺EUV，預計2019年年初交貨，經媒體披露後，ASML迴應，對包括大陸客戶在內的全球客戶都一視同仁，且向大陸出售EUV並沒有違反《瓦森納協定》。同時，荷蘭政府的確向ASML發放了出口許可證，美國立即盯上了這筆交易，接下來的幾個月裡，美方官員至少4次與荷蘭官員開會，討論可否直接封殺這筆交易。再加上當時供應商Prodrive 的一家工廠又發生重大火災，ASML當時公開表示，2019年年初的出貨預計將遭延後，美國政府繼續就這筆交易進行背後運作。

2019年元旦前後，美國國防部官員在荷蘭駐華盛頓大使館，向對方討論了這筆交易的「安全風險」，隨後在2019年6月，美國國務卿蓬佩奧訪問荷蘭，再次向荷蘭政府施加壓力，要求停止這筆交易。值得一提的是，2019年6月30日，荷蘭政府向ASML頒發的出口許可證到期。2019年7月，荷蘭首相Mark Rutte訪問美國，美國白宮高級官員向他展示了一份情報報告，內容是所謂大陸獲得光刻機的可能後果。

報導並強調，根據《路透》報導，這次訪問後不久，荷蘭政府決定不再續簽這份許可證，此後ASML未出現在荷蘭外交部數據庫的續簽名單上。此後，關於EUV出口大陸回題，ASML官方說法一直是，ASML仍在等待新許可證申請的批准。而針對媒體對於美國施壓的報導，荷蘭外交部也在2020年在1月15日表示，在決定是否簽發出口許可證時，荷蘭政府要權衡經濟和安全利益，最後，ASML向大陸市場出售EUV的計劃，就此擱置。

2020年，隨着美國對大陸半導體領域的打壓，國人對於光刻機的關注度越來越高，而ASML 也因此受到關注。但能否向大陸出售EUV，的確非ASML所能左右。當然，目前美國政府的態度也存在不確定性，川普眼下必然無心考慮此事，恐怕一切還要等到明年新一屆美國政府正式上任之後。如果拜登就任美國總統，他會阻撓荷蘭向大陸出口EUV嗎？