泰州中來光電申請模擬生成硅片化學清洗腐蝕表面專利,能提升模擬的準確性和普適性
金融界2025年2月22日消息,國家知識產權局信息顯示,泰州中來光電科技有限公司申請一項名爲“一種模擬生成硅片化學清洗腐蝕表面的方法”的專利,公開號CN 119495383 A,申請日期爲2024年10月。
專利摘要顯示,本發明涉及硅片表面處理技術領域,公開了一種模擬生成硅片化學清洗腐蝕表面的方法,包括:將化學清洗腐蝕硅片表面視爲多個二維空間頻率函數組成;設置激活能來區分硅片腐蝕表面的不同晶面的各向異性;基於硅片在腐蝕過程中的表面微觀上服從玻爾茲曼分佈函數,再結合晶面的激活能,將玻爾茲曼分佈函數演變得到硅片表面的不同晶面的腐蝕概率分佈函數;再將初始振幅值函數結合腐蝕概率分佈函數,即得硅片表面的不同晶面各向異性腐蝕的振幅函數;根據二維空間頻率函數和振幅函數,即得表示硅片腐蝕表面的模擬表達式;根據模擬表達式,模擬得到腐蝕硅片的可視化表面輪廓圖。該方法模擬生成的可視化表面輪廓圖更直觀,並能提升模擬的準確性和普適性。
天眼查資料顯示,泰州中來光電科技有限公司,成立於2016年,位於泰州市,是一家以從事電力、熱力生產和供應業爲主的企業。企業註冊資本233454.57萬人民幣,實繳資本185636.38萬人民幣。通過天眼查大數據分析,泰州中來光電科技有限公司共對外投資了6家企業,參與招投標項目129次,知識產權方面有商標信息23條,專利信息259條,此外企業還擁有行政許可33個。
本文源自:金融界
作者:情報員