日揚旗下明遠 成長爆發力強

日揚集團與明遠精密經營團隊。圖／明遠精密提供

「明遠精密」提供半導體制程所需的電源電漿解決方案及相關維修服務，是日揚集團旗下具高技術性、成長爆發力強的子公司。此次SEMICON明遠展出主軸包括：臭氧供應器與系統、射頻電源系統及機械手臂。

明遠自主開發的先進臭氧產生器系統AOS-6800用於LED產業ALD（Atomic layer deposition 原子級層積）製程，不僅獲得SEMI S2認證，並通過ALD主要設備廠認證及ALD終端大客戶驗證。據悉，明遠已握有數十臺AOS-6800在線訂單，並積極開發其他客戶，成爲業務拓展的重點系統產品之一。

明遠是國際半導體設備大廠「唯一」臭氧產生器系統全球策略維修夥伴，服務客戶包含臺灣、中國大陸、日本、東南亞及歐洲各大晶圓廠，近期並通過美國客戶驗證，逐步深化合作中。

此外，明遠研發製造的RF射頻電源系統「ACME」強調節能、高效、低維修率，推出近四年來已通過所有臺灣晶圓代工廠驗證，成功取代國際品牌於臺灣市場的供應角色，並推進中國大陸及數間日本晶圓廠，明年也將正式出貨至美國。明遠於此次大會也展出晶圓傳送機械手臂，呈現日揚集團切入第三類半導體設備重要的策略技術。

明遠精密總經理盧俊宏表示，今年前八月營收成長約爲25％，主要來自ACME銷售及臭氣產生系統維修業績成長。未來除了AOS-6800和ACME營收比重將持續增加，新設計的RPS遠端電漿源系統也已通過經濟部科專A+功能驗證，一至兩年成功商品化之後，預期將爲明遠帶來新的成長動能。

明遠精密董事長寇崇善博士表示，目前已開始籌備IPO，最快將於2023年底掛牌興櫃。盼藉由公開發行提升公司能見度，以召募優秀人才，也希望在資本市場的支持下，爲發展自有品牌和拓展國際市場，注入更多資源和能量。