朗姆研究公司申請等離子體室中溫度實時控制專利，促進在等離子體室內實現和維持溫度值

金融界2024年10月31日消息，國家知識產權局信息顯示，朗姆研究公司申請一項名爲“等離子體室中溫度的實時控制”的專利，公開號 CN 118841305 A，申請日期爲2019年7月。

專利摘要顯示，描述了用於在等離子體室內溫度的實時控制的系統和方法。該方法中的一者包含實時感測耦合至電壓源的軌的電壓。電壓源供給電壓至等離子體室的多個加熱器元件。所感測的電壓用於調整加熱器元件中的對應的一或更多個的一或更多個工作週期。經調整的一或更多個工作週期促進隨着時間的推移在等離子體室內實現和維持溫度值。

本文源自：金融界

作者：情報員